概述:
可對樣品進行單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的全自動測試;
屏蔽測試,完全消除光線對樣品測試的影響,保證測量的準確性;
吸附測試,完全消除全自動測試過程中樣品移動對測試的影響;
可不連接電腦使用進行單點、中心五點、邊緣五點測試并把測試結果同時顯示于顯示屏;
運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制進行全自動測試,然后把測試數據采集到計算機中加以分析,以表格、圖形方式統計分析顯示測試結果。