1 外形尺寸:1200mm*900mm
2 總高度:750mm 左右
3 負載:400kg 左右
4 固有頻率:2Hz(水平)2.5Hz(垂直)
5 臺面材料:不銹鋼SUS430,臺面布M6螺孔陣距25mm×25mm
6 臺面平整度:≤0.05mm/m2,表面光潔度1.5um
7 自重:190kg 左右
8 振幅:小于 1 um
9 重復定位精度:±0.10 mm
10 工作壓力:0.2~0.6(Mpa)
11 隔震方式:空氣彈簧隔離器,隔振性能與空氣彈簧的形狀、材質,彈簧室的容積與補助罐容積、阻尼孔徑、以及水平調節閥,有著相互關系。
12 自動調水平:水平自動調節系統,為了平臺上搭載的光學儀器移動或施加重心負荷時也能夠始終保持平臺的水平,安裝有三個水平自動調節閥。
13 特點:隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術,隔振性能良好。自動水平,自動充氣,全部氣動執行元件采用德*FEST0 產品,不含空氣壓縮機。
CBTZ-3100Z型自動對位探針臺能
對晶片實現自動對位測試,操作簡單,
快捷,測試精度高,具有MAP顯示功
能。它與測試儀連接后,能自動完成
對各種晶體管芯的電參數測試及功能
測試 。
型號:
型號 | 大小(mm) | 支撐腿數 | 孔距(mm) |
CBDT-G06-06 | 600×600×800 | 4 | 25 |
CBDT-G075-075 | 750×750×800 | 4 | 25 |
CBDT-G09-06 | 900×600×800 | 4 | 25 |
CBDT-G10-07 | 1000×700×800 | 4 | 25 |
CBDT-G10-08 | 1000×800×800 | 4 | 25 |
CBDT-G12-08 | 1200×800×800 | 4 | 25 |
CBDT-G15-09 | 1500×900×800 | 4 | 25 |
CBDT-G15-10 | 1500×1000×800 | 4 | 25 |
CBDT-G16-09 | 1600×900×800 | 4 | 25 |
CBDT-G18-10 | 1800×1000×800 | 4 | 25 |
CBDT-G20-10 | 2000×1000×800 | 4 | 25 |
CBDT-G20-12 | 2000×1200×800 | 4 | 25 |
CBDT-G24-12 | 2400×1200×800 | 4 | 25 |
CBDT-G30-10 | 3000×1000×800 | 4 | 50 |
CBDT-G30-12 | 3000×1200×800 | 4 | 50 |
CBDT-G30-15 | 3000×1500×800 | 4 | 50 |
CBDT-G35-12 | 3500×1200×800 | 6 | 50 |
CBDT-G35-15 | 3500×1500×800 | 6 | 50 |
CBDT-G40-15 | 4000×1500×800 | 6 | 100 |
CBDT-G42-15 | 4200×1500×800 | 6 | 100 |
CBDT-G48-15 | 4800×1500×800 | 6 | 100 |
CBDT-G54-15 | 5400×1500×800 | 6 | 100 |
CBDT-G60-15 | 6000×1500×800 | 6 | 100 |