規(guī)格
臺(tái)體:
型號(hào) CS-4/CS-6
樣品臺(tái)尺寸 4英寸/6英寸
水平旋轉(zhuǎn) 可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸
X-Y移動(dòng)精度 10微米/1微米
樣品固定 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái) U型針座平臺(tái),*多可放置8個(gè)探針座
背電極測(cè)試 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
溫度范圍 室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度 1度/0.1度/0.01度
穩(wěn)定性 ±1度/±0.1度
外形尺寸 400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高/840mm長(zhǎng)*600mm寬*700mm高
重量 約30千克/60千克/100千克
光學(xué)系統(tǒng):
顯微鏡類(lèi)型 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率 16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸行程50.8mm
光源 外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器:
X-Y-Z移動(dòng)行程 12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
線纜 同軸線/三軸線
漏電精度 10pA/100fA/10fA
固定探針 彈簧固定/管狀固定
接頭類(lèi)型 BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
針尖直徑 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質(zhì) 鎢鋼/鈹銅
可選附件
水冷裝置
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤(pán)
光電測(cè)試配件
高壓測(cè)試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統(tǒng)
探針卡夾具