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價 格:詢價
產 地:更新時間:2021-05-12 15:02
品 牌:其他型 號:
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CS探針臺能夠勝任的測試有:
序號
根據測試樣品分類
根據應用分類
1
晶圓測試
射頻測試
2
LED測試
高溫環(huán)境測試
3
功率器件測試
低電流(100fA ***)測試
4
MEMS測試
I-v/c-v/p-iv測試
5
PCB測試
高壓,大電流測試
6
液晶面板測試
磁場環(huán)境測試
7
太陽能電池片測試
輻射環(huán)境測試
8
材料表面電阻率測試
9
積分球測試
使用說明 (例如使用場所、工作原理、產品結構、安全操作說明等)
探針臺的使用
將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,*后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經接觸。
確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。
常見故障的排除
當您使用本儀器時,可能會碰到***些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀
可能原因
解決方法
移動樣品后畫面變模糊
顯微鏡不垂直
調垂直顯微鏡
樣品臺不水平
調水平樣品臺
樣品不平
顯微鏡視場亮度不足,邊緣切割或看不到像
轉換器不在定位位置上
把轉換器轉到定位位置上
管鏡轉盤不在定位位置上
把管鏡轉盤轉到定位位置上
照明的亮度不足
調節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調大
沒有裝目鏡
裝上目鏡
沒有裝物鏡
裝上物鏡
顯微鏡像質變差
目鏡臟
物鏡臟
管鏡臟
對目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進行清潔
孔徑光欄關的太大或者太小
調節(jié)孔徑光欄
沒有調好焦
調節(jié)調焦手輪
樣本上蓋有蓋玻片等介質
移開蓋玻片等介質
圖像***邊清晰,***邊模糊
樣本傾斜放置
放平樣本,或者調節(jié)樣品臺水平
物鏡沒有旋緊
旋緊物鏡
眼睛容易疲勞
雙目頭的瞳距和操作者不匹配
調節(jié)雙目頭的瞳距
目鏡視度調節(jié)不正確
調節(jié)目鏡視度
照明亮度不合適
調節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔
技術參數
規(guī)格
Chuck(可選)
4" 或6" 不銹鋼,真空吸附型,獨立開關控制
Chuck X-Y軸行程,精度
4" x4",10um
Chuck 旋轉角度
0~360 度
Chuck 旋轉角度微調精度
0.01°
Chuck快速升降(選配)
4mm
Chuck微調升降(選配)
4mm ,1um精度
Chuck 平整度
5um
針座平臺
C型設計,可放置8個BT 型針座,可擴展為O型平臺
針座平臺平整度
5 um
顯微鏡Z軸行程,精度
2",細調精度0.1um
需求
電力
220 VAC, 60Hz
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm寬*320mm長*400mm高(帶顯微鏡)
重 20 Kg(帶顯微鏡)
可選附件
激光切割
加熱臺
防震桌
顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測
光強/波長測試接口部件
射頻測試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測試
高壓測試
CCD視頻系統(tǒng)
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck
中型探針定位器探針座
IGBT高壓大電流測試探針測試臺
探針臺
精密氣浮防震桌
高低溫真空探針臺,高磁場環(huán)境測試探針臺
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