產(chǎn)品簡介
IGBT高壓大電流探針臺規(guī)格如下：
卡盤
? 6" 卡盤，采用中心吸附孔和3圈吸附環(huán)固定樣品，分別由3個開關獨立控制
? 卡盤X-Y的移動范圍 6＇＇X6＇＇，移動精度：10微米
? 卡盤可以 360 度旋轉，細調(diào)精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕
? Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。
? Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進行雙面測試
? 卡盤臺可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針
配件
進口高壓大電流探針座
? 精度2微米
? 調(diào)節(jié)架可進行30度以內(nèi)的角度調(diào)節(jié)
? 高壓大電流測試適用
SHV高壓夾具
? 2.1m線纜（銅管TubulerType）接頭和客戶設備配
? 50Ω阻抗，測試頻率直流-100Mhz
SHV高壓大電流探針
? 電流范圍0-10A
? 電壓范圍0-2kV
? 漏電精度100fA
配備屏蔽箱
? 有效屏蔽信號干擾和漏電，提升測試精度
? 防止意外觸電
探針臺的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、 待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
常見問題
當您使用本儀器時，可能會碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調(diào)垂直顯微鏡 |
樣品臺不水平 | 調(diào)水平樣品臺 |
樣品不平 | |
顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉換器不在定位位置上 | 把轉換器轉到定位位置上 |
管鏡轉盤不在定位位置上 | 把管鏡轉盤轉到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者把孔徑光欄孔調(diào)大 |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質(zhì)變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔 |
孔徑光欄關的太大或者太小 | 調(diào)節(jié)孔徑光欄 |
沒有調(diào)好焦 | 調(diào)節(jié)調(diào)焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質(zhì) | 移開蓋玻片等介質(zhì) |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調(diào)節(jié)樣品臺水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調(diào)節(jié)雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調(diào)節(jié)不正確 | 調(diào)節(jié)目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調(diào)節(jié)光源亮度或者孔徑光欄孔 |
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