TESCAN超高速聚焦離子束系統(tǒng)FERA3
世界***個(gè)完全集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡－－－－FERA3，提供了超高離子束束流（束流為2μA），其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費(fèi)時(shí)間或不可能進(jìn)行的需要刻蝕的材料，F(xiàn)ERA3型儀器是***個(gè)不錯的選擇。
新***代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了*新的技術(shù)優(yōu)勢，例如：改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使圖像采集得速度更快，帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超高速掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等。
FERA3的設(shè)計(jì)適應(yīng)各種各樣的SEM應(yīng)用與當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求，其高分辨率、高電流和強(qiáng)大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為***的分析工具。
現(xiàn)代電子光路
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獨(dú)特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)提供了許多工作與顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)
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結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
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全自動的電子光路設(shè)置與合軸
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成像速度快
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使用3維電子束技術(shù)可獲取實(shí)時(shí)立體圖像
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三維導(dǎo)航
高性能離子光路
維修簡單
現(xiàn)在保持電鏡處在***的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機(jī)時(shí)間。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得很仔細(xì)，使得儀器的效率化，操作*簡化。
自動操作
電鏡除了可以自動化設(shè)置外，還可進(jìn)行聚焦、調(diào)節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導(dǎo)航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過內(nèi)置腳本語言（Python）可進(jìn)入軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
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用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺，多用戶和多語言操作界面
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同時(shí)的FIB/SEM成像，易于操作
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實(shí)時(shí)圖像支持多窗口模式，可自定義實(shí)時(shí)圖像參數(shù)
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圖像處理，報(bào)告生成，在線與離線圖像處理
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項(xiàng)目管理軟件
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內(nèi)置的自動診斷（自檢）
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TCP/IP遠(yuǎn)程控制，網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
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免費(fèi)升***軟件
TESCAN FERA3氙等離子超高速雙束FIB系統(tǒng)（XM）
分析潛力
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高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率，高電流和低噪聲的圖像
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選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像
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三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)
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結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
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成像速度快
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低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可獲取高分辨率圖像（選配）
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In-Beam背散射電子探頭，用于在小工作距離下得BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品
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全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控
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完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
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由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快達(dá)到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。
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自動的電子光路設(shè)置和合軸
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網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷軟件
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3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
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低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa用于觀測不導(dǎo)電樣品
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獨(dú)特的離子差異泵（2個(gè)離子泵）使得離子散射效應(yīng)超低
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聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
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聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
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高束流下超高的銑削速度和卓越的性能
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FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術(shù)），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
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成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖像采集、存檔、處理和分析功能
FERA3配置
FERA3 XMH
是***款完全由計(jì)算機(jī)控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，在真空模式下工作。
FERA3 XMU
是***款完全由計(jì)算機(jī)控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作。
軟件（標(biāo)配）：
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測量
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圖象處理
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3維掃描
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硬度測量
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多圖像校準(zhǔn)
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對象區(qū)域
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自動關(guān)機(jī)時(shí)間
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公差
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編程軟件
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定位
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投影面積
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EasySEMTM
配件：
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二次電子探頭
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背散射電子探頭
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In-Beam SE
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In-Beam BSE
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探針電流測量
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壓差式防碰撞報(bào)警裝置
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可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
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TOP-SIMS
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二次離子探頭
等，各種配件可供選擇
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