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VEGA系列的設(shè)計(jì)適合各種SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過10多年的不斷發(fā)展，TESCAN已經(jīng)成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新***代的VEGA給用戶帶了*新的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，使VEGA系列產(chǎn)品保持著非常高的性價(jià)比。

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢(shì)包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場(chǎng)發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個(gè)范圍的加速電壓和很長(zhǎng)的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的發(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應(yīng)用領(lǐng)域的正確選擇。

現(xiàn)代電子光路

• 獨(dú)特的四透鏡大視野光路設(shè)計(jì)提供各種各樣的工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"

• 透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達(dá)到20ns/像素，并減少了動(dòng)態(tài)扭曲效應(yīng)

• 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

• 鏡筒設(shè)計(jì)提供了全自動(dòng)電子光路設(shè)置，鏡筒不含機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)

• 3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像

檢修方便

只要很短的停機(jī)檢查后就能保持電鏡長(zhǎng)時(shí)間處于*佳狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得很仔細(xì)，使得儀器的效率化，操作*簡(jiǎn)化。

自動(dòng)操作

通過***次點(diǎn)擊就可以進(jìn)行自動(dòng)燈絲加熱和電子槍對(duì)中。眾多的自動(dòng)程序減少了用戶的操作時(shí)間，并提供了操作的自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)化分析。通過內(nèi)置腳本語言（Python）用戶可以進(jìn)入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺(tái)導(dǎo)航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動(dòng)操作。

用戶界面友好的軟件

• 用戶界面有各種語言版本

• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過程更快

• 圖像文件管理與報(bào)告生成

• 內(nèi)置的自動(dòng)系統(tǒng)檢查

• 通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實(shí)現(xiàn)電鏡遠(yuǎn)程診斷

• 模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)

• 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括了：測(cè)量工具、圖像處理、對(duì)象區(qū)域等

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等

VEGA3 LM

VEGA3 LM是***款由計(jì)算機(jī)控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動(dòng)化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學(xué)性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

分析潛力：

• LM大樣品室、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)

• 樣品室有11個(gè)接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭

• ***流YAG 閃爍體探頭

• 選配包括了各種探頭于可選的配件

• 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)

• 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（LMU型號(hào)）

• 可選的樣品室減振方式

• 3維Metrology軟件提供了三圍重構(gòu)與3維測(cè)量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH

高真空式SEM，配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀測(cè)小型導(dǎo)電樣品。

VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)非導(dǎo)電樣品，不需要噴金。

軟件（標(biāo)配）：

• 測(cè)量

• 圖象處理

• 3維掃描

• 硬度測(cè)量

• 多圖像校準(zhǔn)

• 對(duì)象區(qū)域

• 自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間

• 公差

• 編程軟件

• 定位

• 投影面積

• EasySEMTM

軟件（選配）：

根據(jù)實(shí)際配置和需求

配件（標(biāo)配）：

• 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

• 可移動(dòng)式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動(dòng)環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）

• 探針電流測(cè)量

• 壓差式防碰撞報(bào)警裝置

• 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

• 冷臺(tái)等，各種附件可供選擇

技術(shù)規(guī)格：