分辨率
20nm （30kV, BSE Image）
放大倍率
30x~30,000x （有效放大倍率20,000x）
加速電壓
5kV to 30kV （5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step）
圖像
背散射電子圖像- Backscattered Electron Image
Observation mode
Standard Mode
Charge-up reduction mode
電子槍系統
燈絲類型
預對中鎢燈絲
偏壓系統
自動偏壓方式
電子槍校正
手動方式
透鏡構成
聚光鏡
2段式磁線圈透鏡
物鏡
1段式磁線圈透鏡
探測器類型
E-T Detector
載物臺系統
3軸操控- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°
Image shift
X, Y Image Shift （10um）
樣品尺寸
50mm in diameter, 20mm in height
圖像掃描速度
快速掃描 （Fast Scan）: 320x240 （Scan time: 0.1 sec.）
低速掃描 （Slow Scan）: 640x480 （Scan time: 3 sec.）
圖片模式1（Photo Mode 1）: 1280x960 （Scan time: 30sec.）
圖片模式2（Photo Mode 2）: 2560x1920 （Scan time: 60sec.）
自動功能
自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節
圖像存儲方式
BMP, JPEG, PNG
數據顯示
放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，文本，標尺等
真空系統
全自動型/高者空模式+低真空模式（Multi mode）
（旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min
（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空時間：2分鐘以內
操控系統
鼠標和鍵盤
運行系統
電鏡專用筆記本電腦
OS : Microsoft Window 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version
軟件
圖像文件打開，編輯，存儲功能
長度，面積，角度等測量功能
設置數值初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting（EDS）模式等
體積
設備主機-390（W）×640（D）×560（H）mm……1set
外置真空泵-400（W）×160（D）×340（H）mm …1set
重量
90kg
設備環境
溫度：15℃~30℃
濕度：70% or less
電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
滬公網安備31011502016460號
