VEGA系列的設(shè)計適合各種SEM應用及當今研究和工業(yè)的需求。經(jīng)過10多年的不斷發(fā)展,TESCAN已經(jīng)成功開發(fā)、研制和制造了VEGA的第三代產(chǎn)品。新***代的VEGA給用戶帶了*新的技術(shù)優(yōu)勢,包括改進的高性能電子設(shè)備使成像速度更快,包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng),內(nèi)置的編程軟件等,使VEGA系列產(chǎn)品保持著非常高的性價比。
LaB6發(fā)射源
TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6(六硼化鑭)作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括:穩(wěn)定的電子發(fā)射源(與場發(fā)射電子源相比),在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流(與鎢燈絲電子源相比)。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的發(fā)射電流,LaB6是需要大電子束流應用領(lǐng)域的正確選擇。
現(xiàn)代電子光路
獨特的四透鏡大視野光路設(shè)計提供各種各樣的工作與顯示模式
以電磁的方式改變物鏡光闌――中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"
透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達到20ns/像素,并減少了動態(tài)扭曲效應
結(jié)合了完善的電子光學設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing?),可模擬和優(yōu)化電子束
鏡筒設(shè)計提供了全自動電子光路設(shè)置,鏡筒不含機械對中結(jié)構(gòu)
3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像
檢修方便
只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于*佳狀態(tài)。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細,使得儀器的效率化,操作*簡化。
自動操作
通過***次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間,并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內(nèi)置腳本語言(Python)用戶可以進入軟件大多數(shù)功能,包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。
用戶界面友好的軟件
用戶界面有各種語言版本
多用戶界面(包括了EasySEMTM模式)不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過程更快
圖像文件管理與報告生成
內(nèi)置的自動系統(tǒng)檢查
通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷
模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)
標準的軟件模塊包括了:測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等
選配軟件包括了:顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等
VEGA3 GM
VEGA3 GM是***款由計算機控制,可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡,具有突出的光學性能,清晰的數(shù)字化圖像,成熟的操作軟件,用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能,可以保存標準文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
VEGA3 XM
VEGA3 XM是***款由計算機控制,可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡,具有突出的光學性能,清晰的數(shù)字化圖像,成熟的操作軟件,用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能,可以保存標準文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
VEGA3 LM
VEGA3 LM是***款由計算機控制,可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡,具有突出的光學性能,清晰的數(shù)字化圖像,成熟的操作軟件,用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能,可以保存標準文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
VEGA3 SB - EasyProbe
VEGA 3 SBU - EasyProbe是***款掃描電子顯微鏡(SEM)與X-射線能譜儀(EDS)的***體化系統(tǒng),其具有圖像質(zhì)量高,自動化程度高,操作簡單,能實時快速進行元素分析等特點。另外,可變真空模式下,用戶可以在自然狀態(tài)下觀測不導電樣品。
VEGA3 SB
VEGA3 SB是***款完全由計算機控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡,具有突出的光學性能,清晰的數(shù)字化圖像,成熟的操作軟件,用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺,VEGA系列的操作系統(tǒng)配置了包括中文在內(nèi)的多語種掃描電鏡操作界面(使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡),獲取圖片后可以用常見的標準格式存儲圖像,強化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他的***些自動功能。