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多用途等離子處理腔室_TEM/SEM樣品清潔儲存

fangdajing

商品編號：70716

多用途等離子處理腔室_TEM/SEM樣品清潔儲存

價格：詢價

產(chǎn) 地：更新時間：2021-01-18 15:02

品牌：型號：Multipurpose

狀態(tài)：正常點擊量：2183

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儀器描述：

多用途等離子處理腔室_TEM & SEM樣品清潔及貯存解決方案

通過選配外部附件如：EM-KLEEN遠(yuǎn)程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器，多用途腔室可配置成不同的應(yīng)用。EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產(chǎn)生氧和氫自由基，用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器，則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個TEM樣品桿，然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當(dāng)然，EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上。

真空泵：采用無油分子泵工作站或渦卷泵

多用途等離子處理腔室_TEM & SEM樣品清潔及貯存解決方案

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產(chǎn)品參數(shù)

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