Brooks GF40質量流量控制器在許多氣體中實現了前所未有的性能,可靠性和靈活性
流量測量和控制應用。 GF40具有耐腐蝕的Hastelloy C-22傳感器,可實現持久耐用,
長期運行。 1秒以下的穩定時間和1%的設定點精度確保GF40提供可靠的
苛刻的氣流應用中的流量測量或流量控制。 GF40實現了出色的內部到外部
CVD,太陽能和其他工藝中發現的具有挑戰性的工藝氣體的泄漏完整性。
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GF40的應用包括:
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- 太陽能電池化學氣相沉積系統 li>
- 生命科學生物反應器 li>
- 真空過程 li>
- 納米技術/ MEMS制造 li>
- 等離子,玻璃和卷筒紙涂布系統 li>
- 歧管/氣體輸送系統的 佳選擇 li>
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美***布魯克儀器公司,成立于1946年,專注于創新。他們擁有150多個有效專利,包括在基本流體測量和控制技術方面的多重進步。布魯克儀器為流量測量和控制應用提供準確 可靠的產品。BrooksInstrument是《財富》 200強公司ITW(伊利諾伊州工具廠)的子公司。ITW是專業工業設備,消耗品和相關服務業務的 多元化制造商之 ,美***布魯克斯公司已經 繁榮了100年,因為ITW的每 項業務都具有獨立的企業***精神和創新自由。