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MCT系列換流型氣體質量流量控制器

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-03-29 17:16

品  牌:其他型  號:

狀  態:正常點擊量:1980

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上海非利加實業有限公司

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產品參數

性能

  • 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)

  • 可調比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)

  • 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)

  • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)

  • 可重復性:0.2%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節功能,可縮短至25ms)

  • 無需預熱時間

工作條件

  • 兼容氣體:98種(MCT系列)或130種(MCTS系列)種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

  • 工作溫度:-10°C至+60°C

  • 大內部壓力(靜態):145 psig(160 psia)

  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)

  • STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)



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