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技術(shù)參數(shù):

1.光刻版尺寸:550x450mm,540x420mm,

              2.厚度:4.8mm, 3.0mm.
3.
光刻版基材:Quartz;SodaLime
4.
*小線(xiàn)寬:1.0um.
5.接觸孔:1.5x1.5um
6.CD公差:+/-0.1um
7.均***性(范圍):0.12um
8.套刻精度:0.12um
9.缺陷大小:0.8um缺陷密度:0.6DPSI

光刻網(wǎng)格校正玻璃版是***種圖形轉(zhuǎn)移技術(shù),將光刻版上的網(wǎng)格圖形轉(zhuǎn)移到涂有光敏材料,即光刻膠的硅片上,符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的光刻和檢測(cè)系統(tǒng)的光刻版。將光***先通過(guò)光刻版,將硅片上的光刻膠曝光,從而產(chǎn)生可以沉積金屬的藍(lán)圖。電子束或激光束圖形發(fā)生器是該工藝過(guò)程中的關(guān)鍵部分。這些工具用來(lái)生產(chǎn)光刻版-***種覆有精細(xì)金屬硌形成的集成電路圖形的低膨玻璃或石英平板。
    圖形發(fā)生器采用電子束或激光束根據(jù)這些信息在覆蓋有光刻膠的基版上畫(huà)出圖形。然后基版再去顯影,刻蝕從而生產(chǎn)出光刻版。


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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