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顯微鏡自動載物臺系統指標:1. 掃描平臺尺寸: 180cm×155cm2. 行程: 60cm×40cm(視顯微鏡安裝尺寸不同而變)3. 載物臺分辨率:<0.625μm4. 載物臺*小移動距離: 1μm5. 聚焦*小步距: 0.04μm,完全滿足自動聚焦要求6. 回差:<5μm7. 重復定位:<3μm8. 限位開關: X、Y兩維9. 通訊: RS232
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