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日本進(jìn)口Kosaka臺(tái)階儀ET150粗糙度輪廓儀

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-04-30 11:47

品  牌：其他型  號(hào)：ET150

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1958

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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日本進(jìn)口Kosaka臺(tái)階儀ET150粗糙度輪廓儀特點(diǎn)：

二次元表面解析，可測(cè)量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等

低測(cè)定力，可測(cè)定軟質(zhì)材料

主要應(yīng)用：
前制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測(cè)量。


 



產(chǎn)品參數(shù)

日本進(jìn)口Kosaka臺(tái)階儀ET150粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

ET150

樣品尺寸

φ160x48mm

樣品臺(tái)

尺寸

φ160

傾斜度

±2°（X,Y手動(dòng)）

承重

2Kg

檢出器

觸針力

10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg）

范圍

600μm（0.1nm分辨率）

驅(qū)動(dòng)

直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）

觸針

R2μm  頂角60°

X軸

測(cè)長(zhǎng)

100mm

直線度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重復(fù)性

±5μm（定位）

Y軸

測(cè)長(zhǎng)

25mm/手動(dòng)

Z軸

測(cè)長(zhǎng)

50mm

放大倍數(shù)

垂直

50-2000000

水平

1-10000

監(jiān)控系統(tǒng)

攝像裝置

1/3 inch CCD

監(jiān)視裝置

視頻捕捉板

移動(dòng)方法

手動(dòng)

輔助功能

教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等

應(yīng)用

成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復(fù)性

1σ1nm

電源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外觀尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺(tái)）



產(chǎn)品介紹




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