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生產線型原子層沉積機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:P-300S

狀  態:正常點擊量:3000

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上海非利加實業有限公司

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P-300S 生產線型原子層沉積機
詳細介紹

PICOSUN P-300S Pro ALD
 

技術參數

襯底尺寸和類型 :300mm晶圓/單片

工藝溫度:
 50 - 500 °C

基片傳送選件:。
 半自動裝載,用單片Load lock與磁力操縱桿實現
         。25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系統實現


標準
 :SEMI S2認證

前驅體
:。液態,固態,氣態,臭氧源
     。等離子體(僅供200mm晶圓使用,*多4路氣體)
     。前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務
     。6條獨立源管線,*多加載8個前驅體源(*多12個前驅體源,加上plasma管路共7根獨立源管線)


重量
:820 kg

尺寸:
(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

選件:
 集群工具,PICOFLOW™擴散增強,N2發生器,尾氣處理,定制設計,與工廠軟件連接服務。

驗收標準
 :。標準設備驗收標準為Al2O3工藝,
        。其他工藝可具體協商:其他工藝、應用具體驗收標準如:
            - 不均勻性
            - 顆粒物含量
            - 重金屬污染
            - 電學性能



PICOSUN高產量的批量型工業用ALD系統 

各種的批量產品裝載及自動化選項ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品,可以覆蓋*細小的地方,*難到達的地方。具有高度的保形性、均***性***無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業里,實現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上,例如金屬,玻璃,塑料,乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術,ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。

***,
PicosunALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色,防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰傳統的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域,ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。

應用
ALD U
 產品
     
應用
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產品參數


產品介紹



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