PICOSUN P-300S Pro ALD 技術參數 襯底尺寸和類型 :300mm晶圓/單片 工藝溫度: 50 - 500 °C 基片傳送選件:。 半自動裝載,用單片Load lock與磁力操縱桿實現 。25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系統實現 標準 :SEMI S2認證 前驅體:。液態,固態,氣態,臭氧源 。等離子體(僅供200mm晶圓使用,*多4路氣體) 。前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務 。6條獨立源管線,*多加載8個前驅體源(*多12個前驅體源,加上plasma管路共7根獨立源管線) 重量:820 kg 尺寸:(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm 選件: 集群工具,PICOFLOW™擴散增強,N2發生器,尾氣處理,定制設計,與工廠軟件連接服務。 驗收標準 :。標準設備驗收標準為Al2O3工藝, 。其他工藝可具體協商:其他工藝、應用具體驗收標準如: - 不均勻性 - 顆粒物含量 - 重金屬污染 - 電學性能 |