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標準型原子層沉積機ALD

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-01-19 15:36

品  牌：型  號：PICOSUN R-200

狀  態：正常點擊量：2819

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 PICOSUN™ R-200標準型ALD 

技術參數 

。襯底尺寸和類型 50-200 mm /單片 
。156 mm x 156 mm太陽能硅片 
。3D 復雜表面襯底 
。粉末與顆粒 
。多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品 
。工藝溫度 ：50 - 500 °C , 可選更高溫度 
。基片傳送選件 ：氣動升降（手動裝載） ，預真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ） 
。前驅體 液態、固態、氣態、臭氧源 ，4根獨立源管線，*多加載6個前驅體源 
。重量 ：350 kg 
。尺寸： (W x H x D) 取決于選件 
-*小146 cm x 146 cm x 84 cm 
-189 cm x 206 cm x 111 cm 
。選件 ：PICOFLOW™擴散增強器，集成橢偏儀，QCM， RGA，N2 發生器，尾氣處理器，定制設 計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載） 
。驗收標準 ：標準設備驗收標準為 Al2O3工藝

   

PICOSUN™ R系列設備提供高質量ALD薄膜的沉積技術，并在各種各樣的襯底上都表現極佳的均勻性，包括*具挑戰性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。 
我們為液體、氣體和固體化學物提供的更高***的，易更換的前驅源系統，能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度*小的薄膜層。 在*基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個獨立的，完全分離的源入口匹配多種類型的前驅源。
    
  

產品參數


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