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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-05-31 15:31

品  牌:其他型  號:EMS 550/EMS 500

狀  態:正常點擊量:1217

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

性能特征:

  • 旋轉且可傾斜樣品臺

  • 高質量鍍層厚度(2nm 金膜)

  • 精確的可重復性能

  • 均勻沉積厚度

  • 復合樣本固定器

  • 全自動控制

  • 低耗冷卻系統,無需冷卻樣本及樣品臺

  • 低壓濺射

  • 20nm(或20埃)

  • 微電子控制

  • 聚碳酸酯安全殼體


產品參數

EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀

儀器參數:

 


儀器尺寸

450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)

工作腔室

硼硅酸鹽玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H)

安全罩

聚碳酸酯

重量

18Kg

靶材

60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金靶為標準靶材)

樣品臺

60mm(Dia.) ,靶面距在25mm-45mm之間可調

真空泵工作范圍

ATM-1x10-2 mbar

濺射電流

0-50mA

濺射鍍膜時間

0-4 minutes

沉積速率

0-25nm/分

電源配置

230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump)


 

產品信息:

 


貨號

產品名稱

規格

91000

EMS 550 Sputter Coater complete with Target

91000-MA

EMS 500 Manual Sputter Coater

91005

Rotary Vacuum Pump 
           Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard



產品介紹

  EMS 550本儀器為全自動操作,可控制獨立的真空泵。




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