EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
價 格:詢價
產 地:更新時間:2021-05-31 15:31
品 牌:其他型 號:EMS 550/EMS 500
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EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
性能特征:
旋轉且可傾斜樣品臺
高質量鍍層厚度(2nm 金膜)
精確的可重復性能
均勻沉積厚度
復合樣本固定器
全自動控制
低耗冷卻系統,無需冷卻樣本及樣品臺
低壓濺射
20nm(或20埃)
微電子控制
聚碳酸酯安全殼體
產品參數
EMS 550/EMS 500全自動離子濺射鍍膜儀
儀器參數:
儀器尺寸 | 450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H) |
工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H) |
安全罩 | 聚碳酸酯 |
重量 | 18Kg |
靶材 | 60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金靶為標準靶材) |
樣品臺 | 60mm(Dia.) ,靶面距在25mm-45mm之間可調 |
真空泵工作范圍 | ATM-1x10-2 mbar |
濺射電流 | 0-50mA |
濺射鍍膜時間 | 0-4 minutes |
沉積速率 | 0-25nm/分 |
電源配置 | 230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump) |
產品信息:
貨號 | 產品名稱 | 規格 |
91000 | EMS 550 Sputter Coater complete with Target | 臺 |
91000-MA | EMS 500 Manual Sputter Coater | 臺 |
91005 | Rotary Vacuum Pump Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard | 個 |
產品介紹
EMS 550本儀器為全自動操作,可控制獨立的真空泵。