OREL 3D CT 固定射線檢測系統可用于微電子產品,特別是對無線電電子產品的缺陷檢測。
OREL 作為***個缺陷檢測系統可用于檢驗多層 PCB 產品,亦可用作 BGA 和 μBGA 裝置。
3D-CT 系統是 OREL 的升***版。
技術參數:
幾何放大率 | 2000 倍 |
樣品尺寸 | 500 x 500 mm |
像素 | 10 micron |
高壓范圍 | 20 – 150kV |
陽極電流范圍 | 60 – 120 mkA |
控制模式 | 自動 / 手動 |
顯像屏尺寸 | 300 x 400 mm |
對焦系統 | 全自動電磁 |
系統尺寸 | 1331 x 1306 x 1910 mm |
系統重量 | 1325 kg |