飛秒激光器FX-系列
? 光束質量： M2 < 1.5
? 脈沖能量達 100μJ
? 脈寬 600fs
? 峰值功率達 160MW
? 脈沖重復頻率達 50MHz
? 平均功率達 200W
? 波長 1030、 515、 343nm
飛秒激光器FX-系列參數
型號 | FXxxx-1 | FXxxx-2 | FXxxx-3 |
波長（nm） | 1030 | 515 | 343 |
光束質量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 |
平均功率（W） | 200 | 100 | 30 |
重頻頻率（MHz） | 50 | 50 | 50 |
單脈沖能量（uJ） | 100 | 50 | 15 |
*小脈寬（fs） | 600 | 600 | 600 |
能量穩定性（%）rms | 2 | 3 | 3 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠場）[%] | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 |
發散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 226 |
預熱時間（min） | 15 | 20 | 30 |
飛秒激光器FX-系列主要應用市場：
? 光伏產業，如:硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導電層和絕緣層的燒蝕
? 印刷工業，如: 印刷輪雕版
? 顯示領域，如: 構造導電層，橫向連續硅結晶
? 電子行業，如: 印刷電路板的鉆孔和切割
? 汽車行業，如: 燃油噴射閥門的制造
? 工具制造和機械工程，如: 三維快速成型
滬公網安備31011502016460號
