激光干涉儀是激光的應用,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
1960年,Maiman研制成功臺紅寶石激光器,從此,激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域,并和微電子技術、計算機技術集成,成為現代干涉儀。
1982年,G·Binning和Rohere研制成功掃描隧道顯微鏡,1986年發明原子力顯微鏡,1986年獲得諾貝爾獎,從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。
由于激光具有極好的時間相干性,因此,據此研發了多種激光干涉儀,包括單頻激光干涉儀、雙頻干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅干涉儀、X射線干涉儀等。
深圳市中圖儀器科技有限公司于2015年上半年在***內推出高性能重大產品——SJ6000激光干涉儀。此款儀器在第十四屆中***機床展上***次亮相后,便備受業內人士的關注,相信對激光干涉測量技術的發展有著積極的推動作用。
SJ6000激光干涉儀顯著特點
1.測量精度高、速度快,穩定性好
①使用美***高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm***
③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統,可以用于速度,加速度,振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據,進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到***個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作,流程清晰,更符合***內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了***外儀器的水準,價格是***內儀器的良心價。
四.sj6000激光干涉儀技術參數
技術線性測長精度:±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度:0.05ppm
分辨率:0.001um