SR300 光譜反射薄膜厚度測量系統
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-01-18 19:43
品 牌：型 號：SR300
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系統配置：
· 型號：SR300
· 探測器： 2048像素的CCD線陣列
· 光源：高穩定性、長壽命的鹵素燈
· 光傳送方式：光纖
· 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節樣品重量、200mmx200mm的大小
· 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
· 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
· 電腦硬件要求：P3以上、50 MB的空間
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
· 保修：***年的整機及零備件保修
規格：
· 波長范圍：400到1100 nm
· 光斑尺寸：500μm至5mm
· 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸：*多可至50毫米厚
· 測量厚度范圍*：20nm〜50μm
· 測量時間：*快2毫秒
· 精確度*：優于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
· 重復性誤差*：小于1 Ǻ
滬公網安備31011502016460號
