TESCAN S9000 新***代超高分辨場發(fā)射掃描電鏡
TESCAN S9000 是***款功能極其強大的分析儀器,適用于納米材料的形貌表征以及微觀分析。S9000 配置 Triglav™ 型 SEM 鏡筒,具有超高的分辨率,在低電壓下尤為明顯;鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)具有電子信號過濾能力,可以獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度,非常適用于不導(dǎo)電樣品的成像,如陶瓷、無涂層生物樣品,以及在半導(dǎo)體光敏樣品。此外,S9000 配備肖特基場發(fā)射電子槍,能夠提供高達(dá) 400 nA 的束流,結(jié)合 Triglav™ 型 SEM 鏡筒所具備的出色納米尺度分析性能和高穩(wěn)定性,為微分析和長耗時樣品的分析應(yīng)用提供了*佳條件。
TESCAN S9000 使用了全新的 TESCAN Essence™ 軟件,用戶界面友好,可以滿足各類應(yīng)用需求,可定制的布局以及自動化的樣品制備功能,限度地提升了操作便捷性和工作效率。
S9000 FE-SEM 主要優(yōu)勢:
* 強大的微觀形貌觀測和微分析能力
TESCAN 的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有 TriLens™ 三物鏡系統(tǒng) ,適用領(lǐng)域更加多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細(xì)節(jié)觀察,使研究人員能夠更好的分析納米***樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實現(xiàn)無漏磁成像,是磁性樣品觀察和分析(EDS, EBSD)的理想選擇。第三個物鏡可以實現(xiàn)多種觀測模式切換,新***代 Triglav™ 鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能,可以提高了大束流下的分辨率,這***特點有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。
* 提供*佳的分析條件
肖特基場發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達(dá) 400 nA 的電子束流,電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號。
* 讓復(fù)雜的應(yīng)用變的前所未有的簡單
新***代 TESCAN Essence™ 是***款簡化的、支持多用戶的軟件,它的布局管理器可以幫助用戶快速、方便地訪問所有主要功能。軟件界面可自定義,以地適應(yīng)特定的應(yīng)用方向,符合不同用戶的使用偏好。軟件的各種功能模塊、向?qū)Ш蛻?yīng)用方案使得無論是入門***用戶或是專******用戶都能夠輕松順暢的掌握掃描電鏡的操作,從而提升樣品的處理速度,提高工作效率。
* 可以獲得不同襯度圖像,程度洞察樣品
TESCAN S9000 配備 TriBE™ 探測器系統(tǒng):包含三個背散射電子探測器,可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號。Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測器位于鏡筒內(nèi),可以接收中角度和軸向的背散射電子,而樣品室內(nèi)背散射電子探測器則用于接收廣角背散射電子。同時,S9000 還配備 TriSE™ 探測器系統(tǒng):共有三個二次電子探測器,可在所有工作模式下以*佳方式獲取二次電子:In-Beam SE 探測器可以在非常短的工作距離下接收二次電子;SE(BDM)為電子束減速模式下的二次電子探測器,可以提供*佳的分辨率;樣品室內(nèi)的二次電子探測器則能提供*佳形貌襯度的圖像。
S9000 FE-SEM 突出特點:
ü 的電子信號選擇檢測功能,幫助用戶獲得更好的表面靈敏度和襯度
ü Xe 等離子鏡筒可提供高達(dá) 2 μA 的超高離子束流,并保持束斑質(zhì)量
ü 超高加工效率,在 30 keV 下視場范圍超過 1 mm
ü 自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能,有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析