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　　透射電子顯微鏡是的提供在較高時間分辨率下得到原子***空間分辨率的實驗手段。透射電子顯微鏡原位力學(xué)-電學(xué)性能測試系統(tǒng)是在標準外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結(jié)構(gòu)進行操控和力學(xué)、電學(xué)測量。并可在力學(xué)-電學(xué)測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進行綜合表征，極大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

　　本系統(tǒng)包括掃描探針控制器（內(nèi)含電流前置放大器、納牛力傳感器）、原位測量樣品桿和高性能電腦與控制軟件。各方面指標如下：

。

掃描探針操縱指標

1. 粗調(diào)為壓電陶瓷慣性步進。粗調(diào)范圍：XY 方向2.5mm，Z 方向1.5mm。

2. 細調(diào)為壓電陶瓷掃描方式。細調(diào)范圍：XY 方向18um，Z 方向1.5um。（細調(diào)范

圍允許±20%的誤差。）

3. 細調(diào)分辨率：XY 方向0.3nm，Z 方向0.02nm。

電學(xué)測量指標

1. 包含***個電流電壓測試單元。

2. 電流測量量程范圍1nA-20mA， 9 個量程，*小電流分辨率：10fA。

3. 電壓輸出范圍：±10V 和±150V 兩個量程。

4. 自動進行電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

力學(xué)傳感器指標

1. 懸臂梁彈性系數(shù)范圍2.5N/m ~ 40N/m。

2. Z 方向位移1.5um，分辨率0.02nm。

3. 載荷分辨率優(yōu)于0.5nN（使用4N/m 懸臂梁時）。

4. 自動測量力-距離曲線，自動保存。

定制部分

1. 樣品載臺為可更換形式的力、電載臺

2. 可包含***個安裝金絲的電學(xué)測量樣品載臺

3. 可包含***個安裝銅環(huán)樣品的電學(xué)測量樣品載臺

注：以上指標可能根據(jù)系統(tǒng)配置不同而略有變化