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 MX系列工業(yè)檢測(cè)顯微鏡
    主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域,可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)及簡(jiǎn)易偏光觀察。
性能特點(diǎn)
系統(tǒng)采用無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差、長(zhǎng)工作距、明暗場(chǎng)兩用物鏡,成像清晰、像面平坦
配備反射式柯拉照明系統(tǒng),為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
正像三通觀察筒,25°傾斜,極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
配備了6"帶離合器機(jī)械平臺(tái),行程158*158mm,可快速移動(dòng)
*佳人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì),高剛性鏡臂,"Y"型底座,調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制,粗微調(diào)同軸
光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù),具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
可選配攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等附件,拓展應(yīng)用領(lǐng)域
MX-6R主要技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng)
無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡
無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差,長(zhǎng)工作距金相物鏡(明暗場(chǎng)兩用),5X、10X、20X、50X、80X
目鏡
高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡,PL10X,線視場(chǎng)φ22mm
高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡,PL15X,線視場(chǎng)φ16mm
觀察筒
正像,鉸鏈?zhǔn)饺浚?5°傾斜,分光比:雙目***,三目***
照明系統(tǒng)
反射式柯拉照明,明暗場(chǎng)切換,帶簡(jiǎn)易偏光接口,12V/100W鹵素?zé)簦A(yù)置中心
采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能,帶針孔光欄
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
粗微調(diào)同軸,帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置
粗調(diào)行程:33mm(焦后1mm),微調(diào)精度:0.001mm
樣品高度:32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器
內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺(tái)
6英寸矩形,機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)200mmX200mm,移動(dòng)行程:158mmX158mm
低位同軸調(diào)節(jié),帶離合器控制手柄,可快速移動(dòng)
機(jī)架
全新的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),高剛性鏡臂,"Y"型底座,前置式操作控制
選購(gòu)附件
攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等
 
觀察筒
正像觀察筒,物的移動(dòng)與像的移動(dòng)方向***致,不會(huì)出現(xiàn)使用倒像觀察筒時(shí)物像方向相反而產(chǎn)生的錯(cuò)覺(jué)。避免操作失誤,提高工作效率。
1、鉸鏈?zhǔn)接^察筒,25°傾斜,視度調(diào)節(jié)(±5)
2、分光比:雙目***,三目***
3、瞳距調(diào)節(jié)(54-75mm),無(wú)需筒長(zhǎng)補(bǔ)償
粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)
1、采用新型導(dǎo)軌機(jī)構(gòu),粗微動(dòng)同軸
2、低手位設(shè)計(jì),操作舒適
3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置
4、調(diào)焦行程:33mm
5、調(diào)焦精度:0.001mm
6、樣品高度:32mm
機(jī)械移動(dòng)載物臺(tái)
1、雙層機(jī)械移動(dòng)式,帶離合器控制手柄,可快速移動(dòng)
2、特殊材料制造、特殊工藝處理,耐磨耐腐蝕
3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄,操作更加舒適
4、6英寸矩形,移動(dòng)行程:158mmX158mm
離合器控制手柄--通過(guò)離合控制,可以脫開(kāi)手輪傳動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)快速無(wú)阻移動(dòng),提高大面積樣品檢測(cè)時(shí)的移動(dòng)效率
照明系統(tǒng)
1、12V/100W鹵素?zé)簦A(yù)置中心
2、90V-240V寬電壓,旋鈕式數(shù)字調(diào)光
3、具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能,用于特定觀察或拍攝照片
4、反射式柯拉照明,帶視場(chǎng)光欄與孔徑光欄,均可調(diào)中心
5、推拉式針孔光欄,主要用于50X以上的物鏡,觀察高景深高對(duì)比度
物鏡轉(zhuǎn)換器
1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場(chǎng)兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
2、物鏡的安裝和操作更為便利
3、高精度制造,保證系統(tǒng)齊焦
偏光裝置
1、選擇簡(jiǎn)易偏光附件可以實(shí)現(xiàn)偏光觀察
2、S-PO起偏鏡,S-AN檢偏鏡
 
目鏡
1、PL10X目鏡,標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)數(shù)22mm。可安裝各種測(cè)微尺或指針
2、超大視野,搜索更迅速,觀察更容易
3、高眼點(diǎn)設(shè)計(jì),使用者無(wú)需摘下眼鏡。
4、目鏡配有可翻疊的橡膠眼罩,有效防止外界光線干擾,同時(shí)也保護(hù)目鏡
目 鏡
PL 10X/22(帶防護(hù)罩)
PL15X/16
PL10X23T(視度可調(diào))
視場(chǎng)數(shù)
22mm
16mm
23mm
備 注
標(biāo)準(zhǔn)配置(可選配指針或測(cè)微尺)
選 購(gòu)
選 購(gòu)
 
物鏡
1、無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差,長(zhǎng)工作距金相物鏡(明暗場(chǎng)兩用),提供優(yōu)質(zhì)圖像
2、所有物鏡都經(jīng)過(guò)特殊工藝處理,延長(zhǎng)使用壽命,保證圖像長(zhǎng)期清晰
類 別
倍率
數(shù)值孔徑(N.A.)
工作距離(W.D.)
無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)
消色差物鏡
(明暗場(chǎng)兩用)
5X
0.17
12 mm
10X
0.25
6 mm
20X
0.40
5 mm
50X
0.70
2 mm
80X
0.80
1 mm
MX-6R工業(yè)檢測(cè)顯微鏡配置表
序號(hào)
部 件 名 稱
整機(jī)型號(hào)
貨 號(hào)
MX-6R
1
顯微鏡鏡體
MXF
2
明暗場(chǎng)5孔物鏡轉(zhuǎn)換器
PI103C5BD
3
反射照明器
MXIL
4
離合式6英寸移動(dòng)平臺(tái)
SGMC6A
5
12V/100W鹵素?zé)粝?/span>
LH100
6
25°正像鉸鏈三通觀察筒
ETH25R
7
物鏡5x、10x、20x、50x、80x(明暗場(chǎng)兩用)
OLIPBD5X/10X/20X/50X/80X
8
PL10X22高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡(帶眼罩)
●●
PL10X22
 
PL15X16高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡
○○
PL15X16
 
PL10X23T高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡(視度可調(diào))
○○
PL10X23T
9
電源線
 
10
12V/100W鹵素?zé)簦▊溆茫?/span>
 
11
M3、 M4內(nèi)六角扳手(各***)
 
12
防塵罩
 
13
操作手冊(cè)
 
14
S-PO起偏鏡
MX-PO
15
S-AN檢偏鏡
MX-AN
16
IF-G綠色濾光片
IF-G
17
IF-B藍(lán)色濾光片
IF-B
18
IF-R紅色濾光片
IF-R
19
0.1mm十字分劃尺
 
20
網(wǎng)格板
 
21
0.01mm測(cè)微尺
 
22
C型1/2"攝像適配器
MXCTV0.5
23
數(shù)碼相機(jī)適配器
MXDM
"●"為標(biāo)準(zhǔn)配置,"○"為選購(gòu)配件
 

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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