半導體特氣檢漏儀 半導體特氣檢測儀 半導體特氣測量儀
價 格:詢價
產 地:更新時間:2021-01-17 14:47
品 牌:型 號:QT104-703D
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產品名稱:半導體特氣檢漏儀 半導體特氣檢測儀 半導體特氣測量儀
產品型號:QT104-703D
特點:
*適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內