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微米膜厚測(cè)量?jī)x C11011-21

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2020-12-15 10:34

品  牌：其他型  號(hào)：C11011-21

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2758

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

微米膜厚測(cè)量?jī)x C11011-21

  • 詳細(xì)介紹

  • 詳細(xì)參數(shù)

    型號(hào)C11011-21
    可測(cè)膜厚范圍（玻璃）25 μm to 2200 μm*1
    光源Infrared LD （1300 nm)
    光斑尺寸Approx. φ60 μm*4
    工作距離155 mm*4
    可測(cè)層數(shù)Max. 10 layers
    分析Peak detection
    測(cè)量時(shí)間16.7 ms/point*5
    外部控制功能RS-232C, Ethernet
    電源AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗Approx. 50 VA
    接口USB 2.0 (Main unit - Computer)
    可測(cè)膜厚范圍（硅）10 μm to 900 μm*2
    測(cè)量可重復(fù)性（硅）100 nm*3
    測(cè)量準(zhǔn)確度（硅）< 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3


    * 1：玻璃折射率相同。 

    * 2：硅折射率相同。 

    * 3：測(cè)量硅時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差。 

    * 4：可選1000毫米工作距離的型號(hào)。 （型號(hào)C11011-01WL） 

    * 5：***短曝光時(shí)間。

    產(chǎn)品特性

    ● 利用紅外光度測(cè)定進(jìn)行非透明樣品測(cè)量 


    ● 測(cè)量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2200μm 


    ● 測(cè)量速度高達(dá)60 Hz 


    ● 可測(cè)量層數(shù)：10層 


    ● 測(cè)量帶圖紋晶圓或帶保護(hù)膜的晶圓 


    ● 工作距離長(zhǎng) 


    ● Mapping功能 


    ● 可外部控制

    外形尺寸（單位：mm）


  • 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)


  • C11011-21型光學(xué)微米膜厚測(cè)量?jī)x利用激光干涉法原理，測(cè)量速度達(dá)60Hz，適用于產(chǎn)品在線測(cè)量。此外，選配的作圖系統(tǒng)可以用于測(cè)量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應(yīng)用廣泛，比如用于產(chǎn)品制造過(guò)程監(jiān)控或質(zhì)量控制。


    C11011-21可測(cè)玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm，可測(cè)層數(shù)zui多為10層。




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