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光學(xué)NanoGauge C10178-02

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2020-12-15 10:28

品  牌：其他型  號： C10178-02

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2826

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

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傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹

  • 詳細(xì)參數(shù)

    型號C10178-02
    可測膜厚范圍（玻璃）20 nm to 30 μm*1
    測量可重復(fù)性（玻璃）0.02 nm*2 *3
    測量準(zhǔn)確性（玻璃）±0.4 %*3 *4
    光源D2-Halogen light source
    光斑尺寸Approx. φ1 mm*3
    工作距離10 mm*3
    可測層數(shù)Max. 10 layers
    分析FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
    測量時(shí)間19 ms/point*5
    光纖連接頭φ12 sleeve shape
    外部控制功能RS-232C, PIPE, Ethernet
    電源AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗Approx. 210 VA
    測量波長范圍200 nm to 950 nm
    接口USB 2.0
    測量模式（特征）supports UV


    *1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5 

    *2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 

    *3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 

    *4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件***致 

    *5 ***短曝光時(shí)間

    產(chǎn)品特性

    ● 高速、高準(zhǔn)確性（可測膜厚范圍（玻璃）：20 nm-30μm） 


    ● 實(shí)時(shí)測量


    ●  非恒定膜層的精確測量 


    ● 分析光學(xué)常量(n, k) 


    ● 可外部控制 


    ● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率，反射率，透射率和吸收率

    外形尺寸（單位：mm）


  • 產(chǎn)品優(yōu)勢


  • C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。 


    C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。




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