FT110系列X射線熒光鍍層厚度測量儀
價 格:詢價
產 地:更新時間:2020-12-15 09:41
品 牌:日立型 號:FT110系列
狀 態:正常點擊量:2460
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產品介紹
FT110系列X射線熒光鍍層厚度測量儀
1.即放即測!
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量!
3.可無標樣測量!
4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置!
1. 通過自動定位功能提高操作性
測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現在3秒內即可完成,大大提高樣品定位的操作性。
2. 微區膜厚測量精度提高
通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
3. 多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
4. 廣域觀察系統(選配)
可從***大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
5. 對應大型印刷線路板(選配)
可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
型號 | FT110 |
測量元素 | 原子序號Ti(22)~Bi(83) |
X射線源 | 空冷式小型X射線管 管電壓:50(可變更)kV 管電流:10~1000μA |
檢測器 | 比例計數管 |
準直器 | ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種 |
樣品觀察 | CCD攝像頭 |
對焦 | 激光對焦(自動) |
濾波器 | ***次濾波器(自動切換) |
樣品區域 | [固定]535×530 mm [電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm) |
測量軟件 | 薄膜FP法(***大2層、10種元素)、檢量線法 |
安全功能 | 樣品室門聯鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能 |