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價 格:詢價
產 地:更新時間:2020-09-17 14:09
品 牌:Edwards型 號:Edwards EXT556H
狀 態:正常點擊量:1831
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性能特點
高臨界前***壓力。
高體積流速。
* 抽速快。
多***Holweck分子拖曳結構,對輕氣體產生高壓縮比。
極限真空<10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
復合軸承。
免維護。
機加工整體轉子。
直流電機驅動。
主入口法蘭 DN160ISO-K
出口法蘭
DN25NW
放氣口
1/8 inch BSP
吹掃凈化口
入口泵速*
N2
540 l/s
He
580 l/s
H2
500 l/s
Ar
510 l/s
壓縮比
>10E10
10E8
10E6
前級泵(推薦)
RV12
最高入口壓力( N2, He, H2 )**
水冷(水溫15°C)
2 x 10E-3 mbar
空冷(大氣溫度30°C)
1 x 10E-3 mbar
空冷(大氣溫度35°C)
5 x 10E-4 mbar
額定轉速
50000 rpm
轉速達到90%所需時間 **
EXC250
5 min
EXC300
6.5 min
EXDC160
8 min
冷卻方式
空冷/水冷
大氣溫度(空冷)
0-35 °C
推薦冷卻水流速(水溫15 °C)
15 l/h
水溫范圍
10-20 °C
入口法蘭最高溫度
100 °C
工作姿態
垂直
Edwards EXT556H 復合渦輪分子泵
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