INFICON 真空計設計緊湊,具有卓越的精確性和可靠性。在***個單獨的控制器中結合了多項技術,用于全部壓力測量和真空過程控制。
·INFICON 陶瓷電容式真空計 (CDG) 在溫度和機械穩定性、零點漂移、精確性、可重復性和耐蝕性方面優于所有金屬薄膜 CDG。在傳統技術的基礎上經過創新,INFICON 陶瓷電容薄膜式真空計采用超純的氧化鋁陶瓷薄膜替代傳統金屬薄膜,使真空測量具有卓越的精確性和可重復性。
·INFICON 與氣體類型無關的皮拉尼電容薄膜式真空計在價格低體積小的規管中結合了專利雙皮拉尼傳感器技術和與氣體類型無關的陶瓷電容薄膜技術。
·INFICON B-A 型電容薄膜式真空計使用***個簡易儀表、***根接線、***根傳感器電纜和***個 A/D 轉換器,可測量 13 量***,顯著降低復雜性和成本。