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INFICON MPG400/MPG401 冷陰極皮拉尼復(fù)合真空規(guī)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:美國(guó)更新時(shí)間:2020-10-27 10:05

品  牌:Inficon型  號(hào):INFICON

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1522

400-006-7520
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電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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INFICON復(fù)合真空規(guī) (冷陰極和皮拉尼的復(fù)合)

型號(hào):MPG400和MPG401,

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在***個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.

優(yōu)點(diǎn):

復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼

寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓

無可燒毀的燈絲

卓越的引燃功能

易清洗

FPM或金屬密封的饋入件

高壓加上時(shí)LED指示燈亮

對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)

應(yīng)用:

高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)

蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量

***般真空測(cè)量和控制,從中至高真空范圍


產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)參數(shù):


 測(cè)量范圍 (空氣, N2)

毫巴(乇)

5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)

精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴

% 讀值

≈±30%

重復(fù)性1 x 10-8 … 100毫巴

% 讀值

≈±5%

安裝方向

 

任何

允許壓強(qiáng)

巴(絕對(duì))

≤10 (限于惰性氣體)

允許溫度

工作 (室溫)

貯存 

烘烤 1)

燈絲溫度 (皮拉尼)

 

°C

°C

°C

°C

 

+5 … +55

–40 … +65

150

120

電源電壓

 

 

在規(guī)管上

V DC

+15 … +30

在供電單元上, 最大電纜長(zhǎng)度 2)

V DC

+16 … +30

紋波

Vpp

≤1

功耗

W

≤2

連接保險(xiǎn)絲

AT

≤1

輸出訊號(hào)(測(cè)量訊號(hào))

 

 

電壓范圍

V

0 … +10.5

測(cè)量范圍

V

+1.82 … +8.6

電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系

 

對(duì)數(shù), 0.6 V/量級(jí)

誤差訊號(hào)

V

<0.5 (無電源)

 

V

>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)

輸出阻抗

?

2 x 10

最小負(fù)載阻抗

k?

10, 短路保護(hù)

響應(yīng)時(shí)間      p > 10-6 毫巴

毫秒

<10

p = 10-8 毫巴

毫秒

≈1000

規(guī)管標(biāo)識(shí)

k?

85, 參考電源公共點(diǎn)

狀態(tài)

 

 

僅皮拉尼模式

V

0 (低)

復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式

V

15 … 30 (高)

指示燈

LED 綠色

高壓on

電氣連接

 

FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型

傳感器電纜

 

8芯,加屏蔽

電纜長(zhǎng)度

≤50 (8 x 0.14 毫米2)

工作電壓

千伏

≤3.3

工作電流

微安

≤500

暴露于真空的材料 

 

不銹鋼, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W

不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W

內(nèi)容積

厘米3

≈20

重量

 

 

DN 25 ISO-KF

≈700 ≈730

DN 40 ISO-KF

≈720 ≈750

DN 40 CF-F

≈980 ≈1010

保護(hù)級(jí)別

 

IP 40

標(biāo)準(zhǔn)

 

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1



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