FMA3304_FMA3305_FMA3306_FMA3307_FMA3308_FMA3309質量流量計和控制器OMEGA
規格:
輸出:0 ~ 5 Vdc(***小值2500 ?)
輸入設定電壓
(僅FMA3200):0 ~ 5 Vdc
精度:滿量程的±1.5%*
重復性:滿量程的±0.5%
響應時間:在滿量程的25 ~ ***范圍大約2秒(常規)達到設定流速的±2%內
工作環境:10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),無冷凝空氣
工作壓力范圍:25°C (77°F)時達到***大值150 psi
溫度系數:每°C為±0.2%
壓力系數:每psi為±0.02%
泄漏完整性:對于外界環境,***大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源:
FMA3100和FMA3300:12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)
FMA3200:12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)
連接口:流速達到1 L/min時,采用?"壓合接頭;流速達到5 L/min時,采用?" 壓合接頭;流速達到10 L/min時,采用?"壓合接頭
接液材質:陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭(標配)
量程比:10:1
氣體:大部分潔凈、干燥氣體(例如,空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣)
過濾:如果氣體中含有任何顆粒物質,需要使用20微米過濾器
規格(FMA3200流量控制器)
壓差:15 ~ 40 psi
閥門工作壽命:>1百萬次循環;閥門處于常閉狀態
控制量程:50:1
遠程設定電壓:0 ~ 5 Vdc
重量:
FMA3100:199 g (0.44 lb)
FMA3300:249 g (0.55 lb)
FMA3200:386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸(近似值):
FMA3100:47(長)x 26(寬)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300:47(長)x 26(寬)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200:81(長)x 26(寬)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")