ORION?顯微鏡的基礎是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發出的,極其明亮的氦離子束克服了衍射和能量擴展的限制,正是衍射和能量的擴展影響了電子束在掃描電鏡中的應用。
這就意味著ORION顯微鏡擁有***個非常小的束斑用于高分辨率成像。此外,在***個大大縮小了的相互作用區里,獨特的氦離子束和樣品的動力學結果貢獻了更高的分辨率和內涵豐富的襯度機制
ORION?顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像,具有很強元素襯度的這種技術,提供了在樣品表面區分不同材料的能力
ORION?顯微鏡靈活性高、功能多樣,能夠提供廣泛的分析信息,其中包括:形貌、材料、電壓襯度、晶體學、表面和次表面信息,這種技術的另***個好處是在絕緣樣品上的卓越性能。