SmartSPM原子力顯微鏡,又稱掃描探針顯微鏡,SPM.
測量模式
l 接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相)
l 半接觸式原子力顯微鏡(大氣和液相)
l 真正非接觸式原子力顯微鏡
l 橫向力/摩擦力顯微鏡(LFM)
l 導(dǎo)電原子力顯微鏡
l 磁力顯微鏡(MFM),開爾文探針(Kelvin Probe)
l 電容和靜電力顯微鏡(EFM)
l 高***的納米光刻和納米操作能力
l 音叉原子力顯微鏡
l 掃描范圍:100x100x15um(+ / -10%)
l 掃描類型:樣品
l XY非線性度: 0.03 %
l Z非線性度: 0.1 %
l 噪音:
? 電容傳感器開,在200Hz帶寬,在XY 0.1nm RMS,
? 電容傳感器關(guān)閉,在100Hz帶寬,在XY 0.02nm RMS。
? 1000Hz帶寬, < 0.04nm的RMS Z電容式傳感器
l 數(shù)字閉環(huán)控制:X , Y ,Z軸
l XY共振頻率: 7KHz(卸載)
l Z共振頻率: 15 KHz(卸載)
l 主動消除XY相位滯后,過沖和結(jié)圈現(xiàn)象,在快速掃描時無任何動態(tài)圖像失真
l 在掃描器共振頻率上Z控制信號的數(shù)字濾波技術(shù),實現(xiàn)了極短的穩(wěn)定時間
l 全自動樣品定位:范圍-5 x 5mm,
定位分辨率-1 um