電鏡能譜***體化設計,簡潔小巧
Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對臺式電鏡設計的,本著臺式電鏡簡單易用,售后無憂的宗旨,Phenom ProX的能譜儀EDS 系統完全嵌入在電鏡主機中,利用半導體制冷,無需額外冷卻系統。下圖是傳統電鏡能譜儀系統與Phenom ProX的對比圖
電鏡分辨率顯著提高
瞬間得到樣品表面形貌和元素含量
第***步:利用成像模式得到高分辨率的照片,
背散射電子給出豐富的成份像,雜質***目了然
第二步:如果需要分析元素含量,瞬間切換到成份分析模式,點擊感興趣的區域,立刻給出定量定性分析元素名稱和含量分布
5kV,10kV,15kV 三檔加速電壓
Phenom ProX提供三檔加速電壓,用戶可根據樣品類型和測試目的,靈活切換
5kV :血液 絕緣體直接觀測模式
適合對電子束敏感的樣品
10kV:電路板 ***佳分辨率模式
適合絕大部分樣品
15kV:電路板 元素分析模式
X射線特征譜線更明顯
表面形貌和成分信息同時展現
背散射電子的產率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關。Phenom(飛納)采用4分割半導體背散射電子探測器,為您提供兩種成像模式,模式之間可迅速切換:
? 成份模式:同時給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨
? 形貌模式:去除成份信息,樣品表面凹凸起伏等微觀結構更加明晰,適用于表面粗糙度和缺陷分析成份模式
4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相疊加
形貌模式
4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相抵消
成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息
形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征
專利樣品杯,30秒快速成像
Phenom(飛納)專利樣品杯、低真空設計、專利的真空封鎖技術,裝入樣品后30秒內即可得到高質量圖像,耗時僅為傳統電鏡的1/10左右。
直接觀看絕緣體,無需噴金
Phenom(飛納)采用低真空技術,出射電子與空氣分子碰撞產生正離子,正離子與樣品表面累積的電子中和,有效抑制荷電效應的產生,直接觀測各種不導電樣品(如下圖所示)。
利用降低荷電效應樣品杯,更可將開始荷電的放大倍數提高8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,下圖頭發示例:
操作簡便,全程導航
? 自動/手動聚焦
Phenom(飛納)操作界面。通過點擊右側圖標可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調節、旋轉等操作。界面右側顯示光學導航和低倍SEM導航窗口,方便用戶在不同樣品、不同區域間進行切換。
? 自動/手動亮度
? 自動/手動對比度
? 自動燈絲居中調節
? 自動馬達樣品臺
? 光學/電子樣品導航
光學導航,所有待觀測樣品盡在視野之中,高倍下準確切換樣品,只需點擊感興趣樣品,即可自動移動到屏幕中央
低倍SEM照片導航,導航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區域,點擊感興趣的區域,自動移動到樣品中央。
長壽命/高亮度/低色差 CeB6 燈絲
Phenom(飛納)采用逸出功為2.5eV的CeB6燈絲,其亮度為鎢燈絲的10倍,出射電子色差小,為您提供更高質量的圖像,其使用壽命長達1500小時,為鎢燈絲的10倍,可正常使用1-3年無需更換燈絲,免去了您頻繁更換燈絲的麻煩,保證工作進度。
環境適應性高,完全防震
Phenom(飛納)可以放置在幾乎所有的室內環境當中,無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對***體化的設計,震動不會引起三者間的相對運動,使Phenom成像不受震動影響,可放置在較高樓層。
互聯網遠程檢測
Phenom(飛納)擁有遠程檢測功能,通過網絡,專業工程師可隨時為您遠程檢測系統、答疑解難,為您提供全方位的保護,讓您的Phenom隨時處于***佳工作狀態。
豐富的拓展功能選件
適用于不同領域的樣品杯選件