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半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格

Olympus MX61L是對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用），可以應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節(jié)連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。 

UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像 
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發(fā)揮它的卓越性能。 

主要操作集中配置在前面板上 
在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用***個按鈕就可以操作。此外，用***個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒 
為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這***款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。 

安全快速的搬運晶圓 
MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。 
*自動晶圓搬送機AL110 詳情請點擊： http://www.recotech.com.cn/product_details.aspx?pid=48 

快速切換物鏡，提高檢查速度 
電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。 

變換物鏡，亮度光圈（AS）也隨之調節(jié) 
每次變換物鏡時都需要調節(jié)亮度光圈（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14***），只要切換物鏡就能以***合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。 

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置 
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物臺夾子，可切換粗調和細調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。 

使用數碼照相機記錄和保存數碼影像 
三目鏡筒可以安裝數碼照相機。可以保存和記錄數碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告。可依據用途從圖像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。